1.乱流式:

        空气经由无尘室的风管和空气过滤器(HEPA)经过 空调箱进入无尘室，回到无尘室或高架地板两侧两个隔间的无尘室。气流不是直线型运动，而是不规则的湍流或涡流状。适用于1000~100000级无尘房间。

低贱 :结构 简朴 ，系统 本钱 高，易于扩展 无尘室。在一些特殊的运用 处 所，可并用无尘事情台来提高 无尘室的水平 。

弱点 :湍流惹起 的粉尘颗粒不容易 倾轧 。此外，若是 系统 阻止 偏重 新启动，则需求 很长时间 才干 抵达 所需的清洁度。

    2.层流式:

层流式空气气流运动成一匀称 的直线形,空气从掩盖 率100%的过滤器进入房间,并由高架地板或两侧隔墙板回风,这种类 型的装配 式（模块式）清洁 室,需求 运用 一个高水平 的情形 ,一样往常 层流式无尘室品级为Class 1~100，可分为两类:

    (1)水平 层流式:水平 气流经过 侧壁回流空气系统 从水平 倾向 吹出，粉尘被风倾轧 。一样往常 来说，下游的污染 较严重。

        低贱 :结构 简朴 ，运转 时间 短。

        弱点 :施工本钱 高于湍流型，室内空间不容易 扩张。

    (2)垂直层流式:房间顶棚完全位于ULPA过滤器罩内。空气可以经过 吹扫举行 清洁，可以取得 更高的清洁 度，制造历程中或事情职员 所发作 的灰尘可快速 倾轧 室外，不会浸染 其他事情区域。

        低贱 :易于管理 。运转 后能在短时间 内抵达 动摇 形状 。谢绝 易遭到 职掌 形状 或职掌 职员 的浸染 。

        弱点 :施工本钱 高，弹性运用空间肖，吊顶空间大，过滤器维修交流 贫穷 。

    3.混杂 类型:

        复合型即合理同时运用 乱流型和层流型。可提供局部 超净空气

    （1）清洁 隧道：用HEPA或ULPA过滤器使掩盖 工艺区或事情区抵达 100%，使清洁 隧道的清洁度提高 到10级以上，浪费 安设 和运转 本钱 。

        这种类 型需求 将职掌 者的事情区域与产品 和机械的维修脱离 ，以阻止 机械维修对事情和质量的浸染 。大少数 ULSI工艺接纳这种类 型。

        清洁 隧道有两个低贱 ：

            a.易弹性收缩 ；

            b.装备 维护容易在维修区域内举行 。

    （2）清洁管：经过 消费 历程包装和污染 自动消费 线，提高 清洁度100以上。因为 产品 与职掌 员之间的疏散和粉尘情形 ，大批 的空气供应 可以取得 优秀 的清洁、节能，没有手动的自动化消费 线是最适宜 运用 的。适用于制药、食物 和半导体行业。

    （3）安设 和安设 局部 清洁 点：将装配 式（模块式）清洁 室产品 制造工艺区的清洁 度从装配 式（模块式）清洁 室的10000级至100000级提高 到10～1000级以上，消费 清洁事情台、清洁 事情棚、清洁 空气柜等。属于这一类。

        清洁 台：1~100级。

        清洁 事情棚：为在装配 式（模块式）清洁 室空间无序活动 的情形 下，将静电透明 的塑料圆片导入一个小空间，自力 的HEPA和ULPA或空调送风单元和更初级 此外装配 式（模块式）清洁 室，水平 10～1000，高度2.5米，在COV下。占空中 积约10平方米，有四根柱子和车轮装备 运动，可用于弹性。