清洁 车间的温湿度抵消 费 有至关主要 的作用，若是 相对 湿度控制车间欠好，就有能够 使房间全体 功用 退步 ，也会带来一系列的浸染 。

1. 细菌生长。细菌和其他生物污染 物(真菌、病毒、真菌、螨虫)在相对 湿度凌驾60%的情形 中可以生动 的繁殖 。有些菌落在相对 湿度凌驾30%时生长。当相对 湿度在40% ~ 60%之间时，细菌和呼吸道熏染的浸染 最小，是以 清洁 室的相对 湿度应控制在一定规模内。

2. 清洁 车间员工感应室温恬静 规模。湿度规模在40%到60%之间，这也是人类恬静 的过度 规模。若是 清洁 车间的湿度太高，人们会感应窒息。若是 湿度小于30%，人们会感应皮肤枯燥 、开裂、呼吸不适和心情 不适，这将浸染 他们的事情。

3. 清洁车间相对 湿度控制欠安 ，会发作 静电。当相对 湿度凌驾50%时，静电会迅速消逝 ，但当相对 湿度小于30%时，静电会恒久存在于绝缘体或不接地外貌。清洁 车间相对 湿度在35% ~ 40%之间是一个适宜 的规模。半导体污染 室通常运用 特另外 控制来限制静电积聚 。

4. 若是 清洁 车间的相对 湿度控制欠好，很容易形成 清洁 车间的金属腐蚀 。许多化学反映的速率 ，征求 腐蚀 ，会随着相对 湿度的增添 而增添 。一切 暴露 在清洁 室周围 空气的外貌会很快被至少 一层水掩盖 。当这些外貌由可以 与水反映的薄金属涂层构成 时，高湿度会减速 反映。一些金属，如铝，可以与水构成 一种掩护氧化物，以防止 进一步氧化。另一些金属，如氧化铜，则没有掩护作用。

5.在相对 湿度较高的清洁 室内情形 中，高浓度的毛细力在颗粒与外貌之间构成 粘结，增添 了颗粒与硅外貌之间的粘结力。当相对 湿度小于50%时，这种称为开尔文浓度的效应其实不 主要 ，但当相对 湿度在70%左右时，它就成为颗粒间粘连的主要 实力 。