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单向流清洁 室

        单向流清洁 室也被称为层流清洁 室,其气流是从室内送风一侧平行、直线、颠簸 地流向相对 应的回风侧,它是将室内污染 源的污染 物在未向室内分散 之前就被清洁 空气压出房间,送入的清洁空气对污染 源起隔离作用。单向活动 清洁 室分为垂直活动 清洁 室和水平 活动 清洁 室。



        垂直单向流清洁 室已普遍 用于电子产品 消费 所需 ISO5 级或更严要求的清洁 度品级的清洁 室中,现如今 它与微情形 或种种类 型的隔离装置 配合运用 可以知足 超大规模集成电路消费 所需 ISO1 级、控制粒径 0.1μm 甚至更严酷 的清洁 室中运用 。垂直单向流无尘室结构 简朴 ,无邪 性好,易于抵达 严酷 的清洁 度。但树立 和运营本钱 高。


        水平 单向流清洁 室是一面侧墙满布高效过滤器送风口送风, 在相对 的侧墙上或清洁 室内设隔墙并在一致 侧隔墙或在两侧隔墙上设回气焰 气焰 栅(或中效器)回风。这类清洁 室的特点是:修建 层高较小,便于布置 灯具,高效过滤器安设 、维修容易,但沿气流倾向 的清洁 度分别 ,下风 侧空气受下风 侧的装备 、职员 的污染 等。


        单向活动 清洁 室主要 用于电子工业和外地 生物制药消费 地域。在生物医药产品 消费 中,主要 接纳层压板或污染 台或生物喧嚣 柜来知足 消费 工艺要求。在电子工业中,微电子产品 的消费 或某些电子产品 的消费 需求 有一个房间或一条消费 线,甚至几个消费 工序都必需 设置在100级以上的清洁 室,以知足 消费 的要求。如今 超大规模集成电路消费 ,要求微粒控制粒径 0.1μm、0.05μm,抵达 1 级或更初级 此外要求,为此,单向流清洁 室的空间布置 已从“单层”布置 生长到“多层”布置 。


        “单层” 布置 的单向流清洁 厂房如图  所示例, 在单向流清洁 消费 区的上部、下部设有上、下手艺 夹层,在上手艺 夹层内布置 送风管道、局限 公用动力管线(主要 征求 自来水、纯水、种种气体或液体管道和电力、照明及通讯 线缆等),经过 设在顶棚上的高效过滤器向清洁 消费 区匀称 送风; 经过 设在下手艺 夹层的回风地板回风至空气处置赏罚 装置 。供应 清洁 消费 区所用的局限 公用动力管线、装备 和工艺消费 用管线、设备 同等 层布置 清洁 消费 区的相近 处。这种空间布置 的无邪 性较差,当产品 消费 工艺或产品 数目 扩展 时,举行 工艺平面 布置 调整较为难题 ,需求 较长的手艺 刷新 时间 ,技改费用 增添 。 


        “多层”布置 的单向流清洁 厂房,这种布置 的主要 特点是将清洁 消费 区与供应 产品 消费 工艺所需的种种公用动力管线、 产品 消费 工艺管线及设备 布置 在下手艺 夹层内,同清洁 消费 区分层布置 。若是 工程投产后需举行 消费 工艺调整或产品 产量扩展 时,仅需将清洁 消费 区的平面 布置 举行 调整、刷新 ,而与清洁 消费 区相关的风管、公用动力管线和消费 工艺管线、设备 都布置 在下手艺 夹层内,这样可以竞赛 利便 地凭证 产品 消费 工艺调整、转变 的需求 举行 照应 的刷新 ,手艺 刷新 的费用 可以镌汰 ,所需时间 也可以 延长 。

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